激光跟踪仪系统基本都是由激光盯梢头（盯梢仪）、控制器、用户计算机、反射器（靶镜）及测量附件等组成。激光跟踪仪系统的作业基本原理是在方针点上安顿一个反射器，盯梢头发出的激光射到反射器上，又回来到盯梢头，当方针移动时，盯梢头调整光束方向来对准方针。

　　同时，回来光束为检测系统所接纳，用来测算方针的空间位置。简单的说，激光跟踪仪系统的所要解决的问题是静态或动态地盯梢一个在空间中运动的点，同时确认方针点的空间坐标。它具有高精度、高效率、实时盯梢测量、安装快捷、操作简便等特点，适合于大尺度工件配装测量。

　　由于激光盯梢仪是运用激光测距，所以测距精度很高，但视点编码器随着间隔的加大带来的位置差错亦很大，所以盯梢仪本身主要是视点差错。

　　在激光盯梢仪的应用中靶标对测量精度的影响亦不可忽视，通常靶标外形为球形，内部为3个互相垂直的反射镜（CCR）。若三个反射镜的角点和外球的中心不重合或3个反射镜面相互不垂直都会引起差错，因此在同一次丈量中引荐运用同一个反射镜，同时反射镜不要绕本身光轴滚动。

　　激光本身受大气温度、压力、湿度及气流活动的影响，所以大气参数的补偿对此仪器的正常运用非常要害。