气是仅次于电力的第二大动力能源，其应用规模遍及各个行业。三坐标测量的正常运转离不开气浮轴承，因此需求压缩空气。压缩空气的质量直接影响三坐标测量的正常工作及运用寿命，不理想的是气源中含有相当数量的杂质。

　　首要分为三类，即水，油和尘；,其中大约80%在尺度上小于2μm,空压机吸气过滤器无力消弭。此外，空压机体系内部也会不时产生磨屑、锈渣和油的碳化物，它们将加快用气设备的磨损，招致密封失效或梗塞。

　　水份大气中相对湿度一般高达65%以上，经压缩冷凝后，即成为湿饱满空气，并夹带很多的液态水滴，它们是管道和阀门、三坐标测量等设备锈蚀的基本缘由，冬季结冰还会阻塞气动体系中的小孔通道。值得留心的是：即便是别离洁净的纯饱满空气，随着温度的下降，仍会有冷凝水分出，大约每下降10℃，其饱满含水量将下降50%,即有一半的水蒸气转化为液态水滴。

　　油份压缩机类型分为活塞式，螺杆式；大部分空压机是采用润滑油来润滑和冷却其运动部件（如螺杆、活塞等）的，但污染了压缩空气。在空压机内润滑油与高温的压缩空气直接触摸，压缩空气中的油污以"油滴"、"油雾（气溶胶）"和"油蒸气"三种方式存在。被从压机内带到供气体系中的油在任何状况下都没有益处。